划片机 卓景传感器 • 2022年 8月 21日 • 129阅读 切割刀片厚度只有数十微米,高精度激光位移传感器检测精度达到 5um,通过两只传感器对装,实现刀片厚度测量,减少维护工时。 半导体装备