晶圆批量生产时需要采用晶圆外观检测设备来进行品质检测。晶圆外观检测设备依托的是机器视觉检测，高精度激光位移传感器能够协助视觉系统进行焦点调节...

切割刀片厚度只有数十微米，高精度激光位移传感器检测精度达到 5um，通过两只传感器对装，实现刀片厚度测量，减少维护工时。

高精度激光位移传感器检测光刻胶涂布高度，保持稳定的涂布精度。