晶圆视觉系统检测 卓景传感器 • 2022年 8月 21日 • 141阅读 晶圆批量生产时需要采用晶圆外观检测设备来进行品质检测。晶圆外观检测设备依托的是机器视觉检测,高精度激光位移传感器能够协助视觉系统进行焦点调节。 半导体装备